هدف تیتانیوم Gr1 Gr2، هدف پرشدن دیسک تیتانیوم خالص با چگالی بالا

هدف کندوپاش دیسک تیتانیوم تیتانیوم خالص Gr1 Gr2 با کیفیت بالا

ماده هدف، ماده هدفی است که توسط ذرات باردار با سرعت بالا بمباران می شود.فلزات، آلیاژها، اکسیدها و غیره وجود دارد. مواد هدف مختلف (مانند آلومینیوم، مس، فولاد ضد زنگ، تیتانیوم، اهداف نیکل و غیره) را جایگزین کنید، می توانید سیستم های مختلف فیلم (مانند فوق سخت، مقاوم در برابر سایش، فیلم آلیاژی ضد خوردگی و غیره).

(1) اهداف فلزی: هدف نیکل، نیکل، هدف تیتانیوم، Ti، هدف روی، روی، هدف کروم، کروم، هدف منیزیم، منیزیم، هدف نیوبیم، Nb، هدف قلع، Sn، هدف آلومینیوم، آل، هدف ایندیوم، در هدف آهن، آهن، هدف آلومینیوم زیرکونیوم، ZrAl، هدف آلومینیوم تیتانیوم، TiAl، هدف زیرکونیوم، Zr، هدف سیلیکونی آلومینیوم، AlSi، هدف سیلیکونی، Si، هدف مس مس، هدف تانتالیوم T، a، هدف ژرمانیوم، جنرال الکتریک، نقره هدف، نقره، هدف کبالت، شرکت، هدف طلا، طلا، هدف گادولینیم، Gd، هدف لانتانیم، La، هدف ایتریم، Y، هدف سریم، Ce، هدف تنگستن، w، هدف فولاد ضد زنگ، هدف نیکل کروم، نیکل کروم، هدف هافنیوم، Hf، هدف مولیبدن، مو، هدف آهن نیکل، FeNi، هدف تنگستن، W و غیره.

(2) اهداف سرامیکی: هدف ITO، هدف اکسید منیزیم، هدف اکسید آهن، هدف نیترید سیلیکون، هدف کاربید سیلیکون، هدف نیترید تیتانیوم، هدف اکسید کروم، هدف اکسید روی، هدف سولفید روی، هدف دی اکسید سیلیکون، یک هدف اکسید سیلیکون، هدف اکسید سریم، هدف دی اکسید زیرکونیوم، هدف پنتوکسید نیوبیم، هدف دی اکسید تیتانیوم، هدف دی اکسید زیرکونیوم، هدف دی اکسید هافنیوم، هدف دی‌بورید تیتانیوم، هدف دی‌بورید زیرکونیوم، هدف تری‌اکسید تنگستن، هدف اکسید آلومینیوم، اکسید تانتالیوم، هدف اکسید تانتالیوم، هدف نیوبیوم پنوماید هدف فلوراید ایتریم، هدف سلنید روی، هدف نیترید آلومینیوم، هدف نیترید سیلیکون، هدف نیترید بور، هدف نیترید تیتانیوم، هدف کاربید سیلیکون، هدف نیوبات لیتیوم، هدف پرازئودیمیم تیتانات، هدف تیتانات باریم، هدف هدف‌گیری تیتانات لانتانیم تیتانات، هدف هدف لانتانیم تیتانات هدف و غیره

2. الزامات عملکرد اصلی هدف

(1) خلوص

خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکرد هدف است، زیرا خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد فیلم دارد.با این حال، در کاربردهای عملی، الزامات خلوص مواد مورد نظر نیز متفاوت است.به عنوان مثال، با توسعه سریع صنعت میکروالکترونیک، اندازه ویفرهای سیلیکونی از 6 "، 8" به 12 " افزایش یافته است، و عرض سیم کشی از 0.5um به 0.25um، 0.18um یا حتی 0.13um کاهش یافته است. خلوص هدف قبلی 99.995٪ می تواند الزامات فنی 0.35umIC را برآورده کند و آماده سازی خطوط 0.18um به 99.999٪ یا حتی 99.9999٪ برای خلوص هدف نیاز دارد.

(2) محتوای ناخالصی

ناخالصی‌های جامد مورد نظر و اکسیژن و بخار آب در منافذ، منابع اصلی آلودگی فیلم رسوب‌شده هستند.اهداف مختلف نیازهای متفاوتی برای محتویات ناخالصی مختلف دارند.به عنوان مثال، اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.

(3) چگالی

به منظور کاهش منافذ در مواد جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده، معمولاً هدف مورد نیاز است که چگالی بالاتری داشته باشد.چگالی هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش تأثیر می گذارد، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد.هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است.علاوه بر این، افزایش چگالی و استحکام هدف باعث می شود تا هدف بهتر در برابر تنش حرارتی در حین کندوپاش مقاومت کند.تراکم نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد هدف است.

(4) اندازه دانه و توزیع اندازه دانه

ماده مورد نظر معمولاً چند کریستالی است و اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر باشد.برای همان ماده هدف، سرعت کندوپاش هدف با دانه‌های ریز سریع‌تر از هدف با دانه‌های درشت است.ضخامت لایه ته نشین شده با کندوپاش هدف با اختلاف کمی در اندازه دانه (توزیع یکنواخت) یکنواخت تر است.

3. مواد

TA0، TA1، TA2، TA9، TA10، ZR2، ZR0، GR5، GR2، GR1، TC11، TC6، TC4، TC3، TC2، TC1

4. هدف

این به طور گسترده ای در پوشش های تزئینی، پوشش های مقاوم در برابر سایش، سی دی ها و VCD ها در صنعت الکترونیک و همچنین پوشش های مختلف دیسک مغناطیسی استفاده می شود.

فیلم‌های تنگستن تیتانیوم (W-Ti) و فیلم‌های آلیاژی مبتنی بر تنگستن تیتانیوم (W-Ti) فیلم‌های آلیاژی با دمای بالا با یک سری خواص عالی غیرقابل جایگزین هستند.تنگستن دارای خواصی مانند نقطه ذوب بالا، استحکام بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین است.آلیاژ W / Ti دارای ضریب مقاومت پایین، پایداری حرارتی خوب و مقاومت در برابر اکسیداسیون است.از جمله دستگاه های مختلفی که نیاز به سیم کشی فلزی دارند که نقش رسانا را ایفا می کنند مانند Al، Cu و Ag به طور گسترده مورد استفاده و تحقیق قرار گرفته اند.با این حال، خود فلز سیم کشی به راحتی اکسید می شود، با محیط اطراف واکنش نشان می دهد و چسبندگی ضعیفی به لایه دی الکتریک دارد.به راحتی در مواد زیرلایه وسایلی مانند Si و SiO2 منتشر می شود و در دمای پایین تری تشکیل فلز و سی می دهد.ترکیباتی که به عنوان ناخالصی عمل می کنند، عملکرد دستگاه را به شدت کاهش می دهند.آلیاژ W-Ti به دلیل خواص ترمومکانیکی پایدار، تحرک کم الکترون، مقاومت در برابر خوردگی بالا و پایداری شیمیایی، به‌ویژه برای استفاده در محیط‌های با جریان بالا و دمای بالا، به راحتی می‌تواند به عنوان مانع انتشار سیم‌کشی استفاده شود.

2-تصویر

3. کارخانه و گواهی

4. بسته بندی و تحویل

بسته:

مواد ti هدف را با پنبه مروارید بپیچید و در جعبه چوبی قرار دهید.روش بسته بندی معقول ما می تواند از برخورد مواد هدف با یکدیگر در حین حمل و نقل جلوگیری کند و همچنین می تواند از تأثیر کالاهای خارجی بر روی محصول جلوگیری کند و اطمینان حاصل کند که محصول پس از تحویل یکپارچگی تحویل داده می شود.

---1.بسته بندی مهر و موم شده، سپس در جعبه کارتن یا جعبه استاندارد استاندارد تخته سه لا قرار دهید.

---2.استفاده از کارتن سفارشی منحصر به فرد با آرم مشتری، هر بسته بندی جداگانه، برای کمک به خریداران برای فروش مستقیم.

--- درخواست مشتری را بپذیرید

مطمئن شوید که هر بسته برای شما ساخته شده است.اطمینان حاصل کنید که وقتی کالا را دریافت می کنید آسیبی نبیند.